Model matematyczny badanej pojemności.

    C=Cox*Cdep/(Cox+Cdep)   -  pojemność całkowita

    Cox=e₀*e_rSiO2*W*L/tox    -  pojemność tlenku krzemu

    Cdep=e₀*e_rSiO2*W*L/dep   -  pojemność złączowa

    dep=sqrt(2*e₀*e_rSiO2*Vg/(q*Na))   -  warstwa złączowa

    gdzie,

    e₀=8.85e-14 F/m  -  przenikalność dielektryczna próżni
    e_rSiO2  -  przenikalność dielektryczna względna
    tox  -  grubość warstwy tlenku
    Vg   -  napięcie bramki
    W,L  -  wymiary bramki
    q=1.6e-19 C  -  ładunek elementarny
    Na  -  gęstość domieszkowania podłoża