Wpływ zmiany dostępnych parametrów na pojemność MOS

Napięcie bramki

     Badana pojemność zmniejsza się wraz ze wzrostem napięcia bramki Vg, co jest potwierdzeniem jej modelu matematycznego (wzrost Vg powoduje wzrost dep, zmniejszenie pojemności złączowej Cdep i w konsekwencji spadek pojemności całkowitej C). Wzory określające tę pojemność wskazują, że jest ona szeregowym połączeniem pojemności złączowej i pojemności tlenku krzemu.

Wymiary geometryczne

     Zwiększenie wymiarów geometrycznych W i L powoduje wzrost Cox i Cdep (Cdep i Cox ~W*L) , zaś ze wzoru na pojemność całkowitą wynika, że iloczyn Cox*Cdep w liczniku rośnie szybciej niż suma Cox+Cdep w mianowniku , czego wynikiem jest wzrost C.

Grubość warstwy tlenku

     Zwiększenie grubości tlenku tox powoduje zmniejszenie możliwej do uzyskania wartości pojemności.

Domieszkowanie krzemu

     Zwiększenie sub doping odpowiadającego za domieszkowanie powoduje zwiększenie minimalnej wartości pojemności uzyskiwanej dla rosnących wartości napięcia bramki Vg.